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Park NX-PTR 原子力顯微鏡
產(chǎn)品特點(diǎn)
Park NX-PTR的特點(diǎn)
低噪聲XYZ軸位置傳感器,帶來(lái)更精確的掃描效果
NX-PTR擯棄了常見(jiàn)的非線性Z軸電壓信號(hào),而是采用超低噪聲Z軸探測(cè)器,從而帶來(lái)無(wú)與倫比的形貌高度精度。憑借著行業(yè)領(lǐng)先的低噪聲Z軸探測(cè)器,正向掃描和反向掃描間隙得以降到掃描范圍的0.15%以內(nèi),甚至可以忽略不計(jì),而這時(shí)Z軸形貌信號(hào)所無(wú)法企及的。
熱漂移和滯后極小,大大降低探針漂移
NX-PTR具備極為突出的熱穩(wěn)定性和機(jī)械穩(wěn)定性,從而大大降低熱漂移,實(shí)現(xiàn)更為精確的測(cè)量。一般情況下,橫向熱漂移率低于100 nm/°C,而垂直熱漂移率則低于200 nm/°C。
測(cè)量控制自動(dòng)化,釋放您的雙手
NX-PTR配有自動(dòng)化軟件,操作起來(lái)輕而易舉。您只需要選擇想要的測(cè)量程序,并設(shè)定相應(yīng)的懸臂調(diào)諧、掃描速率、增益和點(diǎn)參數(shù),便可取得多位置分析。此外,Park的用戶友好型界面讓您能夠隨意創(chuàng)建自定義作業(yè)程序,以便您完全發(fā)揮NX-PTR的實(shí)力,滿足所有的測(cè)量需求。創(chuàng)建新的作業(yè)程序極為簡(jiǎn)單。創(chuàng)建新測(cè)量文件只需要10分鐘左右的時(shí)間,而修改現(xiàn)有的測(cè)量文件則不超過(guò)5分鐘的時(shí)間。
Park NX-PTR的自動(dòng)化系統(tǒng)具備:
·自動(dòng)、半自動(dòng)和手動(dòng)模式,讓您掌控全局
·各自動(dòng)程序的可編輯測(cè)量方法
·測(cè)量過(guò)程實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)
·自動(dòng)分析所獲取的測(cè)量數(shù)據(jù)
* 選項(xiàng)
自動(dòng)探針更換(選配)
Park推出的自動(dòng)探針更換系統(tǒng)讓您的自動(dòng)測(cè)量程序可以無(wú)縫續(xù)航。該系統(tǒng)會(huì)根據(jù)參考圖形測(cè)量數(shù)據(jù),自動(dòng)校正懸臂的位置和優(yōu)化測(cè)量設(shè)定。創(chuàng)新的磁性探針更換成功率高達(dá)99%,讓您無(wú)需分心監(jiān)督探針更換!
自動(dòng)激光準(zhǔn)直(選配)
Park的自動(dòng)激光準(zhǔn)直系統(tǒng)讓您無(wú)需輸入任何數(shù)據(jù),便可持續(xù)自動(dòng)測(cè)量。憑借著我們先進(jìn)的預(yù)準(zhǔn)直懸臂架,激光在自動(dòng)更換探針時(shí)便已對(duì)準(zhǔn)懸臂。只需要調(diào)整定位旋鈕,便可在X和Y軸上任意定位激光光點(diǎn),達(dá)到最佳位置。
離子化系統(tǒng)可創(chuàng)造更穩(wěn)定的掃描環(huán)境
創(chuàng)新的離子化系統(tǒng)能夠快速有效地消除樣品的靜電電荷。由于系統(tǒng)能夠讓陰陽(yáng)離子保持完美的平衡狀態(tài),樣品得以處在極其穩(wěn)定的電荷環(huán)境中。同時(shí),對(duì)周邊區(qū)域的污染幾乎可以忽略不計(jì),并將樣品操作時(shí)意外產(chǎn)生靜電電荷的幾率降到最低。
產(chǎn)品介紹
全自動(dòng)原子力顯微鏡實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確的硬盤(pán)磁頭滑塊測(cè)量,讓偉大變得簡(jiǎn)單
Park Systems的PTR系列是全自動(dòng)工業(yè)級(jí)線上原子力顯微鏡解決方案,適用于(不限于)長(zhǎng)形條、磁頭萬(wàn)向節(jié)組件(HGA)級(jí)滑塊以及單獨(dú)滑塊的極尖沉降自動(dòng)測(cè)量。憑借著亞納米級(jí)精確度、高重復(fù)精度以及高通量,PTR系列是滑塊廠商提高整體產(chǎn)量的理想測(cè)量工具。
自動(dòng)化、快速、精確且可重復(fù)的極尖沉降測(cè)量
硬盤(pán)驅(qū)動(dòng)滑塊制造業(yè)要求工具不僅可以快速且流暢地測(cè)量極尖沉降,同時(shí)保證最高標(biāo)準(zhǔn)的精確度。這便是Park NX-PTR大展身手的領(lǐng)域。在超精確的極尖沉降測(cè)量之外,自動(dòng)化功能可極大程度提高效率。這讓NX-PTR成為硬盤(pán)驅(qū)動(dòng)器滑塊廠商的最佳選擇,兼顧最佳的質(zhì)量和最高的產(chǎn)量。
高通量,無(wú)需多次參考掃描
大多數(shù)原子力顯微鏡需要多次掃描才可以準(zhǔn)確測(cè)量極尖沉降,首先是大區(qū)域參考掃描,隨后小區(qū)域高分辨率掃描。多次掃描占用大量時(shí)間,且限制了通量的提高。我們的掃描系統(tǒng)帶來(lái)真正的平面掃描,有效地降低掃描次數(shù)。此外,True Non-Contact?模式讓探針保持鋒利,在延長(zhǎng)使用壽命的同時(shí),提供更持久的高分辨率成像效果。相應(yīng)地,Park NX-PTR能夠生成感興趣區(qū)域的詳細(xì)準(zhǔn)確圖像,而無(wú)需進(jìn)行參考掃描,以便修正掃描器偽影。
應(yīng)用
自動(dòng)硬盤(pán)滑塊測(cè)量
Park NX-PTR恰恰具備這樣的精確且自動(dòng)的硬盤(pán)滑塊測(cè)量。
自動(dòng)極尖沉降測(cè)量與分析
借助NX-PTR系統(tǒng),極尖沉降測(cè)量可實(shí)現(xiàn)全自動(dòng),帶來(lái)更高的通量,無(wú)論是對(duì)于載體、長(zhǎng)形條,還是滑塊。
Park Systems的工業(yè)級(jí)院里子顯微鏡精確且穩(wěn)定的全自動(dòng)化極尖沉降(PTR)測(cè)量成為可能。
極尖沉降量的監(jiān)測(cè)要求測(cè)量精度達(dá)到0.1 mm,這意味著離測(cè)量表面只有20 μm遠(yuǎn)。
自動(dòng)墻角測(cè)量與分析
實(shí)現(xiàn)各類墻角的自動(dòng)測(cè)量與分析。
自動(dòng)缺陷測(cè)量與分析
實(shí)現(xiàn)各類缺陷的全自動(dòng)測(cè)量與分析,如表面尖角。